上海硅酸盐所研发StableAFM，将显微镜的采样规律与扩散模型结合，先恢复结构，再细化局部特征，并用原始测量持续校正生成结果。

测试中，物理约束使均方误差下降约百分之三十一。团队还将其用于电容器介质层电荷陷阱分析，在加快采集的同时研究局部电势分布。